2024/04/15 ２ミクロンの描画を実現するDIの開発に成功

2024/03/28 子会社による株式会社クリマ・ソフトの株式譲受けに関するお知らせ

2024/02/09 2024年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)

2024/02/05 半導体フォトマスク用レジストレーション装置「PMARS」1号機を出荷

2024/01/24 中国大手パネルメーカー様のOLED工程内にサルベージ専用ラインを設置、2024年４月からサービスを本格始動します

2024/01/05 自己株式の取得状況及び取得終了に関するお知らせ

2023/12/11 シリコンウェーハの製造歩留まりを飛躍的に改善する、業界最高速の結晶欠陥検査装置の出荷を開始

2023/12/04 自己株式の取得状況に関するお知らせ

2023/11/20 フォトマスク製造装置の受注残高が過去最高額を更新

2023/11/10 2024年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)

2023/11/10 自己株式取得に係わる事項の決定に関するお知らせ

2023/07/11 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2023/07/11

2023/06/27 独立役員届出書

2023/05/29 2023年定時株主総会招集ご通知

2023/05/29 2023年定時株主総会招通ご通知に際しての交付書面非記載事項

2023/05/29 NOTICE OF CONVOCATION OF THE GENERAL SHAREHOLDER'S MEETING 2023

2023/05/24 子会社(合弁会社)の設立に関するお知らせ

2023/05/19 (訂正)「2023年3月期決算短信［日本基準］（連結）」の一部訂正について

2023/03/28 大口受注に関するお知らせ

2023/03/10 定款 2023/03/02

2023/02/10 2023年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)

2022/12/27 ジャパンクリエイト株式会社の株式取得(完全子会社化)に関するお知らせ

2022/11/10 2023年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)

2022/11/10 業績予想および配当予想の修正に関するお知らせ

2022/08/10 2023年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)

2022/07/15 定款 2022/06/28

2022/07/12 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2022/07/12

2022/06/28 (訂正・数値データ訂正)「2022年３月期決算短信[日本基準](連結)」の一部訂正について

2022/05/27 2022年定時株主総会招集ご通知

2022/05/27 2022年定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示事項

2022/05/27 Notice of Convocation of the General Shareholder's meeting 2022

2022/02/10 2022年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)

2021/12/28 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/12/28

2021/11/26 新市場区分「プライム市場」選択に関する取締役会決議のお知らせ

2021/11/08 2022年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)

2021/11/08 業績予想の修正に関するお知らせ

2021/08/10 2022年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)

2021/07/09 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/07/09

2021/07/02 定款 2021/06/24

2021/07/01 独立役員届出書

2021/06/03 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ

2021/05/28 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/05/28

2021/05/28 2021年定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示事項

2021/05/28 2021年定時株主総会招集ご通知

2021/05/28 Notice of Convocation of the General Sharholder's Meeting 2021

2021/05/26 連結子会社株式の追加取得による完全子会社化のお知らせ

2021/05/12 2021年3月期決算短信[日本基準](連結)

2021/05/12 定款の一部変更に関するお知らせ

2021/02/26 指名・報酬委員会(任意の諮問機関)の設置に関するお知らせ

2021/02/26 独立役員届出書

2021/02/10 2021年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)

2020/11/10 2021年3月期第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)

2020/08/17 株式報酬等制度の導入に伴う第三者割当による自己株式の処分に関するお知らせ

2020/08/17 株式報酬等制度における株式取得に係る事項の決定に関するお知らせ

2020/08/07 2021年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)

2020/07/08 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2020/07/08[XBRL]

2020/06/05 第23回定時株主総会における議案に関する補足説明について

2020/06/05 Supplement Information regarding Our Proposal in the General Shareholder’s Meeting 2020

2020/05/28 2020年定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示事項

2020/05/28 2020年定時株主総会招集ご通知

2020/05/28 NOTICE OF CONVOCATION OF THE GENERAL SHAREHOLDER’S MEETING 2020

2020/05/12 2020年3月期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]>決算サマリー

2020/05/12 役員に対する株式報酬制度の導入に関するお知らせ

2020/04/23 大口受注のお知らせ

2020/02/10 2020年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]>決算サマリー

2020/02/10 業績予想の修正に関するお知らせ[XBRL]

2020/02/10 期末配当予想の修正に関するお知らせ[XBRL]

2019/11/11 2020年3月期第2四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]>決算サマリー

2019/10/03 (続報)合弁会社(中小型OLEDサルベージ会社)設立に関するお知らせ

2019/09/30 和解による訴訟の解決に関するお知らせ

2019/09/25 合弁会社(中小型OLEDサルベージ会社)設立に関するお知らせ

2019/09/25 中国における子会社（投資性公司）の設立に関するお知らせ

2019/09/25 (訂正)合弁会社（中小型OLEDサルベージ会社）設立に関するお知らせ

2019/08/19 株式会社ナノシステムソリューションズの株式取得(完全子会社化)に関するお知らせ

2019/08/09 2020年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]>決算サマリー

2019/08/05 合弁会社設立に関するお知らせ（続報）

2019/07/30 合弁会社設立に関するお知らせ

2019/07/09 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2019/07/09[XBRL]

2019/06/01 NOTICE OF THE 22ND GENERAL SHAREHOLDER’S MEETING

2019/05/29 第22回定時株主総会招集ご通知

2019/05/29 第22回定時株主総会鞘腫ご通知に際してのインターネット開示事項

2019/05/28 コーポレートガバナンスの強化及び役員の異動に関するお知らせ

2019/05/13 2019年3月期 決算短信〔日本基準〕（連結）[XBRL]>決算サマリー

2019/05/13 株式分割及び株式分割に伴う定款の一部変更に関するお知らせ

2019/02/12 2019年3月期第3四半期決算短信〔日本基準〕（連結）[XBRL]>決算サマリー

2019/02/05 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ

2018/12/27 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2018/12/27[XBRL]

2018/12/06 自己株式の取得結果及び取得終了に関するお知らせ

2018/12/03 子会社株式の譲受けについて

2018/12/03 自己株式の取得に係る事項の決定に関するお知らせ

2018/11/13 2019年3月期第2四半期決算短信〔日本基準〕（連結）[XBRL]>決算サマリー

2018/11/13 業績予想の修正に関するお知らせ

2018/11/08 イノテック株式会社との業務提携および合弁会社の出資比率変更について

2018/08/13 2019年3月期 第1四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]>決算サマリー

2018/07/10 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2018/07/10[XBRL]

2018/07/09 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2018/07/09[XBRL]

2018/06/29 投資単位の引下げに関する考え方及び方針等について

2018/06/20 ウシオ電機株式会社と当社との間の訴訟に関するお知らせ(続報)

2018/05/31 2018年定時株主総会招集通知

2018/05/14 平成30年3月期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]>決算サマリー

2018/04/27 合弁会社設立に関するお知らせ（続報）

2018/03/12 合弁会社設立に関するお知らせ

2018/03/06 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ

2018/02/13 平成30年3月期第3四半期決算短信〔日本基準〕（連結）[XBRL]>決算サマリー

2018/02/13 業績予想および配当予想の修正に関するお知らせ[XBRL]

2018/02/06 次世代蒸着マスク製造及び蒸着技術開発子会社の設立について（続報）

2018/02/02 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ

2018/01/11 大手ディスプレイメーカより大口受注のお知らせ

2017/11/10 平成30年3月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕（連結）[XBRL]>決算サマリー

2017/10/13 次世代蒸着マスク製造及び蒸着技術開発子会社の設立について

2017/10/05 大手ディスプレイメーカーより大口受注のお知らせ

2017/08/10 平成30年3月期 第1四半期決算短信［日本基準］（連結）[XBRL]>決算サマリー

2017/07/13 新株予約権（有償発行新株予約権）の発行内容確定に関するお知らせ

2017/07/10 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2017/07/10[XBRL]

2017/07/07 ウシオ電機株式会社と当社との間の訴訟に関するお知らせ

2017/06/27 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行に関するお知らせ

2017/06/06 2017年定時株主総会招集通知

2017/05/25 投資単位の引下げに関する考え方及び方針等について

2017/05/23 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2017/05/15 平成29年3月期決算短信〔日本基準〕（連結）[XBRL]>決算サマリー

2017/05/15 定款一部変更に関するお知らせ

2017/05/11 業績および配当予想の修正に関するお知らせ[XBRL]

2017/02/13 平成29年3月期第3四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]

2017/02/13 業績および配当予想の修正に関するお知らせ[XBRL]

2016/12/20 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2016/11/25 子会社吸収合併（簡易合併）に関するお知らせ

2016/11/11 平成29年3月期 第2四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]

2016/08/25 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行内容確定に関するお知らせ

2016/08/22 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2016/08/16 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2016/08/12 平成29年3月期第1四半期決算短信[日本基準](連結)[XBRL]

2016/07/26 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行に関するお知らせ

2016/07/06 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2016/07/06[XBRL]

2016/06/24 中期経営計画の策定に関するお知らせ

2016/06/07 2016年定時株主総会招集通知

2016/05/26 （訂正）「平成28 年3 月期 第3 四半期決算短信［日本基準］（連結）」の一部訂正について

2016/05/18 大手パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2016/05/10 平成28年3月期 決算短信[日本基準](連結)[XBRL]

2016/05/10 特別損失（減損損失）の計上に関するお知らせ

2016/05/10 業績予想の修正に関するお知らせ[XBRL]

2016/05/10 営業外損失（為替差損）の計上に関するお知らせ

2016/03/31 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2016/03/23 オー・エイチ・ティー株式会社の株式取得（子会社化）に関するお知らせ

2016/02/10 平成28年３月期 第３四半期決算短信[日本基準](連結)

2016/01/04 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2016/01/04

2015/12/22 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2015/12/22

2015/11/17 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2015/11/10 平成28年3月期 第2四半期決算短信[日本基準](連結)

2015/11/10 子会社設立に関するお知らせ

2015/11/10 業績予想の修正に関するお知らせ

2015/11/09 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2015/09/29 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2015/09/24 大手液晶パネルメーカーより大口受注のお知らせ

2015/08/12 平成28年3月期 第1四半期決算短信[日本基準](連結）

2015/07/10 コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2015/07/10

2015/06/10 2015年（第18回）定時株主総会招集通知

2015/06/01 株式取得（子会社化）完了及び商号変更等に関するお知らせ

2015/05/11 平成27年3月期 決算短信〔日本基準〕（連結）

2015/05/11 特別損失（減損損失）の計上に関するお知らせ

2015/04/27 「内部統制システム構築の基本方針」の一部改定に関するお知らせ

2015/04/21 NSK テクノロジー株式会社の株式取得（子会社化）に関するお知らせ

2015/02/09 平成27年3月期第3四半期決算短信〔日本基準〕（連結）

2015/02/09 営業外収益（為替差益）の計上に関するお知らせ

2015/01/26 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行内容確定に関するお知らせ

2014/12/25 募集新株予約権（有償発行新株予約権）の発行に関するお知らせ

2014/12/11 子会社設立に関するお知らせ